アトックの
超薄膜研磨加工技術
高精度平行平面研磨加工技術
超微細加工技術
溶接加工技術

設備だけでは精度、品質ともに限界があります。
長年の経験、豊富なノウハウ、柔軟な発想での技術開発を融合させ実現した、
超薄膜研磨加工技術・超微細加工技術・溶接加工技術を得意としています。
図面を基に設計、開発段階からお客様のご要望、ご相談にお応えいたします。

研磨

  • 016

    超薄膜研磨加工

    厚み8μm(~φ20)
    多層膜蒸着後、全体厚10~20μm

    《用途》

    シンクロトロン放射光装置用石英ガラス部品
    構造解析用X線装置用石英ガラス部品
    レーザー用カバーガラス
    水晶振動子

  • 031

    高精度平行平面研磨加工

    厚み公差±1μm(~φ100)

    《用途》

    成膜用石英ガラス基板
    計測用石英ガラス評価基板
    光透過用石英ガラス基板

  • 006

    大口径研磨加工

    ~φ3000(2142角)

    《用途》

    石英ガラスターゲット材
    大型石英ガラス基板
    大型装置用覗き窓

研削

  • 094

    高精度円筒研削・研磨加工

    ~φ500
    ~3100l

    《用途》

    光ファイバー用石英ガラス母材
    ライトガイド
    ターゲット棒
    偏光ビームスプリッター

穴あけ

  • thumb_anaake

    穴あけ加工

    φ0.1mm~

    《用途》

    シャワープレート
    フローセル
    石英セル
    シリコンのザグリ加工

  • 172

    ロッド加工

    φ0.4mm~

    《用途》

    光ファイバー
    光学・研究用ロッド

  • 139

    円板加工

    《用途》

    平板から円板や異形状のくり抜き加工

  • femt

    レーザー加工

    《用途》

    微細貫通穴加工
    切断加工

溶接

  • 114

    石英ガラス溶接加工技術

    《用途》

    半導体・液晶製造工程で使用される
    各種石英ガラス治具
    (ボート/プレート/炉心管/キャリア/石英槽)

再生

  • 145

    基板再生研磨加工

    《用途》

    表面のパターンや電極を保護しながらの
    裏面研磨加工

  • unnamed-1

    サイズダウン

    《用途》

    シリコンウエハのサイズダウン
    各種ウエハのチップ化

  • P8-1

    溶接修理加工

    《用途》

    半導体・液晶製造工程で使用される
    各種石英ガラス治具の修理
    (ボート/プレート/炉心管/キャリア/石英槽)

成膜

  • 184

    成膜

    《用途》

    蒸着、スパッタリング加工による成膜加工
    (成膜例:Au , Pt , Ag , Ti , A l, Cr , ITO , SiO2その他各種合金等)

  • deposition-list

    成膜加工物質一覧

その他加工

  • thumb_other_01

    総合加工

    《用途》

    研磨・切削・研削・溶接加工を組み合わせた総合加工

  • 014

    総合加工

    《用途》

    石英ガラス・光学ガラスに関わる
    孔あけ加工、段付け加工、溝切り加工、内外面切削加工やネジ切り加工など様々な形状加工